高NA EUVを「産業規模へ拡張」、imecがEXE:5200導入

TWINSCAN EXE:5200受領時の記念撮影。左からASMLのPeter Vanoppen氏、ASMLのMartin van den Brink氏、imecのCEO、Luc Van den hove氏、フランドル政府のMatthias Diependaele氏、imecのPatrick Vandenameele氏［クリックで拡大］ 出所：imec