先端半導体検査用プローブ、タカノが開発 左は開発した20μmピッチ品のコンタクト痕(2箇所)、右は従来プローブ(先端径24μm)のコンタクト痕[クリックで拡大] 出所:タカノ 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan