大面積のダイヤモンド／シリコン複合ウエハー開発

左はダイヤモンドとシリコンの熱膨張係数、中央は熱膨張量の計算式、右はダイヤモンドとシリコンの熱膨張モデル［クリックで拡大］ 出所：産総研