トレンチ型SiC-MOSFETチップをサンプル提供、三菱電機 トレンチ型SiC-MOSFETを作り込んだウエハーとチップのイメージ図[クリックで拡大] 出所:三菱電機 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan