EUV露光に残された課題――ペリクルの現在地と展望とは

図7：三井化学のEUVペリクルのRoadmap［クリックで拡大］ 出所：平原昭夫（三井化学）、「化学とコラボレーション：明日の半導体エコシステムを推進する」、（ITF Japan 2025）の発表スライド