EUV露光に残された課題――ペリクルの現在地と展望とは

図5：カーボンナノチューブ（CNT）ペリクルの問題点［クリックで拡大］ 出所：Ivan Pollentier et al.,（imec）, “Novel membrane solutions for the EUV pellicle: better or not - ”, Proc. of SPIE Vol. 10143 101430L-2の図に筆者加筆