EUV露光に残された課題――ペリクルの現在地と展望とは

図3：EUVペリクルとDynamic Gas Lock（DGL）の役割［クリックで拡大］ 出所：Mark van de Kerkhof, et al (ASML)., “High-transmission EUV pellicles supporting >400W source power”, Proc. of SPIE Vol. 12051 120510B-1 の図にに筆者加筆