EUV露光に残された課題――ペリクルの現在地と展望とは

図2：半導体メーカー各社の累積EUV保有台数と世界全体の合計［クリックで拡大］ 出所：Bank of Amerca Global Researchの推定値（2021〜2025年）と筆者の推測値（2016〜2020年）