300mmウエハーの全面膜厚を5秒で一括測定、浜松ホトニクス

ムラの小さいサンプルの膜厚分布測定の比較（左：HyperGauge 面内膜厚計、右：同社のポイントセンサー方式膜厚計（サンプル: SiO2 300nm）［クリックで拡大］ 出所：浜松ホトニクス