名古屋大ら、溶液成長法による6インチp型SiCウエハー試作に成功

SiCに関する国際会議「ICSCRM2925」に展示した試作品。左から6インチn型ウエハー、8インチn型ウエハー、6インチp型ウエハー［クリックで拡大］ 出所：名古屋大学他