前工程装置でシェア低下が続く日本勢、気を吐くキヤノンは希望となるか 図9:ASMLが出荷した量産用High NA EUVの1号機[クリックで拡大] 出所:ASMLの2025年第2四半期の決算資料 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan