前工程装置でシェア低下が続く日本勢、気を吐くキヤノンは希望となるか 図1:各種の前工程装置の出荷額の推移[クリックで拡大] 出所:モルガンスタンレー証券のデータ、筆者の調査を基に作成 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan