ウエハーの傷にだけ色付けして撮影、検査スピードは数百倍に 東芝 傷のあるプラスチックプレートをOneShotBRDFで撮影した画像。傷だけが別の色になっている[クリックで拡大] 記事に戻る 浅井涼,EE Times Japan