「ニコン初」後工程向け露光装置の概要を公開　L/S 1μmで50パネル/時

半導体露光装置で培った「高解像度技術」と、FPD露光装置向けの「マルチレンズテクノロジー」による高生産性を両立［クリックで拡大］ 出所：ニコン