配線工程もいよいよ次世代へ　ラムリサーチのモリブデン対応ALD装置

モリブデン（図中の緑の線）は、薄膜化した際の抵抗値の増加を、タングステン（紫の線）よりも低く抑えられる［クリックで拡大］ 出所：Lam Research