半導体デバイスの発熱を制御するメカニズムを発見 上図はバルクのシリカガラスにおけるX線全散乱プロファイル。下図はシリカ膜をSiやGaAs基板上に成膜した時のアモルファスシリカの微小角入射X線全散乱プロファイル[クリックで拡大] 出所:東北大学他 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan