ルチル型二酸化ゲルマニウムによる初の縦型SBD開発

r-GeO2縦型SBDのC-V特性から得られたr-GeO2エピタキシャル層の実効ドナー密度プロファイル［クリックで拡大］ 出所：京都工芸繊維大学