UVナノインプリントによるシリコンフォトニクスプロセスを開発

開発したプロセスで作製したシリコン導波路の伝搬特性[クリックで拡大] 出所:東京科学大学他

開発したプロセスで作製したシリコン導波路の伝搬特性[クリックで拡大] 出所:東京科学大学他