UVナノインプリントによるシリコンフォトニクスプロセスを開発

UV-NILによるシリコンフォトニクスプロセス。上段と中段がNIL工程、下段が光回路形成工程[クリックで拡大] 出所:東京科学大学他

UV-NILによるシリコンフォトニクスプロセス。上段と中段がNIL工程、下段が光回路形成工程[クリックで拡大] 出所:東京科学大学他