馬本隆綱,EE Times Japan UVナノインプリントによるシリコンフォトニクスプロセスを開発UV-NILによるシリコンフォトニクスプロセス。上段と中段がNIL工程、下段が光回路形成工程[クリックで拡大] 出所:東京科学大学他 記事に戻る前の画像3 / 5次の画像Post