スマホの周波数フィルター高性能化に効く AlN系圧電薄膜

これまでに元素Xが添加されたAlNにおける最大固溶量と圧電定数の関係[クリックで拡大]出所:産総研

これまでに元素Xが添加されたAlNにおける最大固溶量と圧電定数の関係[クリックで拡大]出所:産総研