2029年に「シンギュラリティ」が到来か 〜半導体は「新ムーアの法則」の時代へ 図9 Low NA(0.33NA)およびHigh NA(0.55NA)のEUVのロードマップ[クリックで拡大] 出所:ASML Investor Day(2024年11月14日)、Peter Vanoppen、“EUV products and business opportunity”のスライド 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan