半導体露光装置から宇宙へ――京セラのセラミック材料、新市場で展開拡大

左表が光学ミラーとして使用されているさまざまな基板の材料を、温度安定性および比剛性でマッピングした図(青字が京セラのコージライト)。右表は長期寸法安定性のテスト結果(同)[クリックで拡大]出所:京セラ

左表が光学ミラーとして使用されているさまざまな基板の材料を、温度安定性および比剛性でマッピングした図(青字が京セラのコージライト)。右表は長期寸法安定性のテスト結果(同)[クリックで拡大]出所:京セラ