自在な膜厚コントロール　インクジェットで接着剤塗布

左＝サンプルの接着剤塗り分け図。右＝実際に高耐熱接着剤を塗布したウエハー。膜厚変更によるわずかな段差が模様のように見て取れる［クリックで拡大］ 出所：