SiC低価格化の鍵になるか　ヘテロエピ成長用「中間膜」技術

左＝CEATECのブースでは、さまざまな金属で単結晶膜を形成したものを展示していた。カッコ内の数字は結晶方位を示している／右＝MgOを単結晶化した4インチウエハー。「4インチのMgO基板を展示しているだけで驚かれる」（Gaianixx）という［クリックで拡大］