EUVペリクルとして期待されるCNT 課題は製造法 ベルギーimecが開発した、CNTを使ったEUVペリクル。Canatuは、imecのCNTサプライヤーである[クリックで拡大] 出所:imec 記事に戻る Juha Kokkonen(Canatu),EE Times