「超垂直な」メモリホールを高速加工　1000層NANDの実現に向け

左＝加工の垂直性が低いと、デバイス性能に悪影響を及ぼす／右＝CDが上部と下部で違いすぎると、特に多値メモリのしきい値判別でエラーが起こりやすくなる［クリックで拡大］ 出所：Lam Research