銅配線を2nmノード以下に微細化、Appliedが新材料

ルテニウムとコバルトを組み合わせた二元金属（RuCo）によってライナー厚を33％減らし2nmにするとともに、電線抵抗を最大25％引き下げる［クリックで拡大］ 出所：Applied Materials