強誘電体メモリの製造プロセス簡素化とコスト削減 水素含有ガス雰囲気下でさまざまな温度で熱処理した後と熱処理前における強誘電性(自発分極値)の変化量[クリックで拡大] 出所:東京工業大学 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan