強誘電体メモリの製造プロセス簡素化とコスト削減 さまざまな温度の水素を含有するガス雰囲気下で熱処理した窒化物強誘電体における残留分極値の変化[クリックで拡大] 出所:東京工業大学 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan