強誘電体メモリの製造プロセス簡素化とコスト削減

Ti）O3」、HfO2系強誘電体と（Al,Sc）Nにおける強誘電特性の比較,複合酸化物強誘電体「Pb（Zr, Ti）O3」、HfO2系強誘電体と（Al,Sc）Nにおける強誘電特性の比較［クリックで拡大］ 出所：東京工業大学