重量はクジラ級! 超巨大な高NA EUV装置の設置をIntelが公開 左=250個以上のクレートに梱包されているところ/右=43個の貨物コンテナに積まれて輸送された[クリックで拡大] 出所:Intelの動画からキャプチャー 記事に戻る 永山準,EE Times Japan