高性能シリコン太陽電池を安全に製造する技術を確立、東工大 対向ターゲットスパッタ装置とシリコンヘテロ接合太陽電池の概略図[クリックで拡大] 出所:東京工業大学 記事に戻る 半田翔希,EE Times Japan