驚異的な成長で装置メーカートップに躍り出たASML 背景にEUVと中国の「爆買い」 図5 ASMLの露光装置別の出荷台数[クリックで拡大] 出所:ASMLのアニュアルレポートおよび決算報告書のデータ等を基に筆者作成 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan