線幅サブミクロンも視野に　パッケージ向け露光装置でウシオとAppliedが協業

DLTの特長。微細な線幅を描画できるだけでなく、基板のうねりに対する補正機能を備えている、スティッチングのずれを懸念する必要がない、といった利点がある［クリックで拡大］ 出所：Applied Materials／ウシオ電機