線幅サブミクロンも視野に パッケージ向け露光装置でウシオとAppliedが協業 DLTの特長。微細な線幅を描画できるだけでなく、基板のうねりに対する補正機能を備えている、スティッチングのずれを懸念する必要がない、といった利点がある[クリックで拡大] 出所:Applied Materials/ウシオ電機 記事に戻る 村尾麻悠子,EE Times Japan