ASMLの23年通期は増収増益、純利益39%増 初の高NA EUVも出荷 左=高NA EUV装置に至るまでのASMLの装置開発の流れ/右=高NA EUV装置の概要[クリックで拡大] 出所:ASML 記事に戻る 永山準,EE Times Japan