縦型GaNパワー半導体のブレークスルーに、新技術の詳細と展望

QST基板のその他の特長。「標準規格の基板厚」「大口径化の実現」「CFBとの高い親和性」「さまざまなGaNデバイスで実証済み」［クリックで拡大］ 出所：OKI／信越化学工業