東京農工大、高純度のβ型酸化ガリウム結晶を高速成長

左はβ-Ga2O3の成長速度と成長膜中の炭素不純物濃度の成長炉内圧力依存性。右はβ-Ga2O3のホモエピタキシャル成長速度のTMGa供給速度依存性［クリックで拡大］ 出所：東京農工大学