SiCウエハー欠陥無害化技術の新会社が始動

左＝従来の量産SiCウェハー製造における課題／右＝市場に流通するSiCウェハーにおける品質バラツキ。バルク品質（窒素ドープ分布）や内部の結晶欠陥（BPD）および、残留加工ひずみの例［クリックで拡大］ 出所：QureDA Research