音波を使ったリフトオフでウエハーコストを削減

図3：再利用前および再利用後のウエハー基板で製造したデバイスの特性を比較する。赤が、再利用していないウエハー基板で製造した素子、緑が再利用した基板で製造した素子［クリックで拡大］ 出所：Crystal Sonic