3Mが2025年末までにPFAS製造を停止、世界の半導体製造はどうなるのか 図2:ドライエッチング装置のチラー用冷媒の世界シェア[クリックで拡大] 出所:筆者の調査による推測値 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan