3Mが2025年末までにPFAS製造を停止、世界の半導体製造はどうなるのか

図1：ドライエッチング装置における温度制御の原理［クリックで拡大］ 出所：野尻一男（Nanotech Research）『はじめての半導体ドライエッチング技術』（技術評論社）、90ページの図4-16