半導体の微細化は2035年まで続く 〜先端ロジックのトランジスタと配線の行方

図13：ムーアの法則は2040年まで続く［クリックで拡大］ 出所：Michael Lercel (ASML), “Lithography and Patterning for 3nm node and beyond”, SemiconWest 2022.のスライドに筆者加筆（「System Energy Efficiency Performance」の部分。赤い表の陰になり見えなかったため）