半導体の微細化は2035年まで続く 〜先端ロジックのトランジスタと配線の行方

図5：先端ロジックのトランジスタや配線のロードマップ（imec）［クリックで拡大］ 出所：Sri Samavedam（imec）, “Future Logic Scaling: Towards Atomic Channels and Deconstructed Chips”, IEDM2020.