半導体の微細化は2035年まで続く 〜先端ロジックのトランジスタと配線の行方

図1：TSMCのEUV導入のロードマップ［クリックで拡大］ 出所：Yuh-Jier Mii（TSMC）, “Semiconductor Innovations, from Device to System”, VLSI2022, P2-2.