東芝、省イリジウムの電極を従来比500倍に大型化

塗布方式を用いる他社との比較。東芝は、スパッタリング法での置き換えを狙う[クリックで拡大] 出所:東芝

塗布方式を用いる他社との比較。東芝は、スパッタリング法での置き換えを狙う[クリックで拡大] 出所:東芝