単結晶薄膜×接合技術で超音波センサー感度が20倍に

MEMSプロセス後のウエハー。検証用として4インチウエハーを用いた。見にくいが、ウエハー裏面にも薄膜が接合されていて、「MEMS加工前と加工後、どちらのウエハーにも圧電単結晶薄膜を接合できることを示している」（KRYSTAL）とする［クリックで拡大］