単結晶薄膜×接合技術で超音波センサー感度が20倍に

左＝MEMS超音波センサーの動作のデモ。左の青い方に実装されているのが、今回試作したセンサーで、右の白い方は、多結晶圧電薄膜を用いた従来の超音波センサー／右＝2つのセンサーに同じ波形を入力し、超音波を検出して出力信号の強度をオシロスコープで測定している様子。単結晶の圧電薄膜を用いた試作品の感度（青い波形）は、従来品（黄色い波形）よりも高感度であることが明確に見て取れる［クリックで拡大］