日本の前工程装置のシェアはなぜ低下? 〜欧米韓より劣る要素とは 図7:2000年で規格化した装置メーカー・トップ5の売上高[クリックで拡大] 出所:電子ジャーナルの『半導体製造装置データブック』および野村証券のデータを基に筆者作成 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan