フラッシュメモリ、NOR型に続いてNAND型が表舞台に(1980年代後半)

東芝が1984年12月に国際学会IEDMで発表したフラッシュメモリのセル構造。上はレイアウト。中央は制御ゲートに沿った方向の断面構造、下はビット線に沿った方向の断面構造。IEDMの論文集から(論文番号17.3)[クリックで拡大]

東芝が1984年12月に国際学会IEDMで発表したフラッシュメモリのセル構造。上はレイアウト。中央は制御ゲートに沿った方向の断面構造、下はビット線に沿った方向の断面構造。IEDMの論文集から(論文番号17.3)[クリックで拡大]