実はシェアが急低下、危機の入り口に立つ日本の前工程装置産業 図3:各種半導体製造装置の出荷額の推移[クリックで拡大] 出所:野村証券のデータを基に筆者作成 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan